二手 SUPERIOR AUTOMATION Wet bench #293597596 待售
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單擊可縮放
ID: 293597596
晶圓大小: 8"
System, 8"
Tank 1:
Mega-sonic clean tank:
(25) Wafer process cassettes
Tank construction: Heated, Recirculating, Quartz
Four sided cascade overflow
Inlet / Outlet Connections, ½”
Connection: Flare
Tank inner dimension: 12” W x 12” L x 12” D
Mega-sonic system: 750 kHz, 600 W
Operating Temperature: 70°C
Manual lid: PTFE / Teflon
Tank 2 and 3:
SC2 Clean tank and Silicon etcher
(25) Wafer process cassettes
Tank construction: Recirculating PFA / Teflon
Four sided cascade overflow
Inlet / Outlet connections, ½”
Connection: Flare
Tank inner dimensions: 12” W x 12” L x 12” D
Manual lid: PTFE / Teflon
Tank 4 and 5:
HF and DHF:
(25) Wafer process cassettes
Four sided cascade overflow
Tank construction: Recirculating natural polypropylene
Inlet / Outlet connections, ½”
Connection: Flare
Tank I.D: 12” W x 12” L x 12” D
Manual lid: Natural polypropylene
Tank 6,7 and 8:
1, 2 and 3 QDR Rinse tank:
(25) Wafer process cassettes
Four sided cascade overflow
Tank construction: Natural polypropylene
DIW Adjustable: Top spray nozzle
DIW Bottom: Fill cascade overflow
Quick dump valve
Tank 9 and 10:
4 and 5 QDR Rinse tank:
(25) Wafer cassettes
Tank construction: Natural polypropylene
Four sided cascade overflow
DIW Adjustable: Top spray nozzle
DIW Bottom: Fill cascade overflow
Quick dump valve
QDR controller: Microprocessor
Integrated solenoid valve
Fill spray and dump timer.
SUPERIOR AUTOMATION WET Bench is a type of laminar flow and fume hood.這種設備通常放置在實驗室環境中，其設計目的是提供一個不受汙染的區域，在其中執行必要的處理任務。它防止空氣中的微粒和煙霧進入工作區，並提供層流區域，這意味著環境中的空氣保持在比實驗室其他部分低的壓力下，從而使微粒能夠從環境中抽出。濕式工作臺是一種封閉式設備，旨在減少汙染並提供幹凈、安全的工作空間。該系統由不銹鋼構成，提供堅固耐用的環境，通常包括體積流量控制、雙皮墻單元、紫外線熒光照明以及正負壓力系統。這樣可以確保整個環境中的氣壓均勻,從而最大限度地減少進入工作區時可能受到的外部汙染。SUPERIOR AUTOMATION WET Bench的主要部件是一個獨立的層流工作區域，不受灰塵、汙垢、空氣中的微粒和煙霧等任何外部汙染。這是由機器的空氣流通工具實現的，在該工具中，空氣從清潔空氣的外部來源循環，流經濕板凳內部，然後被過濾並排出到外部環境。這有助於保持連續的層流，這對於任何潔凈室過程都是至關重要的。SUPERIOR AUTOMATION WET Bench的設計使內部空氣保持在比實驗室其余部分更低的壓力。這種類型的引擎蓋使粒子能夠從環境中抽出，因為它們不能在較高的氣壓下被置換。它還設計了一個雙皮墻資產，進一步幫助改善空氣流動，降低噪音水平，並最大限度地減少熱量損失。這種濕式工作臺內置的照明系統設計為使用直接和間接的紫外線熒光燈，提供安全、均勻和一致的光線，這對於任何精確的任務和潔凈室過程都是必要的。總體而言,SUPERIOR AUTOMATION濕式工作臺的功能為實驗室任務和過程提供了一個安全且無汙染的環境。它確保氣壓保持在比環境外更低的水平，還有一個雙皮墻模型，以幫助減少外部汙染。照明設備設計為提供均勻、安全和一致的光源，層流確保空氣中的微粒和煙霧不會進入工作區。這對於需要在實驗室中進行的任何精確和無汙染的任務都是必不可少的。
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