二手 CYMER 5300 #34281 待售

CYMER 5300是一款堅固可靠的5軸激光設備，專為深層紫外線光刻應用而設計。它具有高重復率的深紫色激光光源、193 nm的發射、6通道光學定心系統、精密工程能力以及與石英、無石英基板和薄膜等多種掩模材料的兼容性。5300提供基於激光的陣列功能,以實現高分辨率成像和卓越的圖像可重復性。對於高精度印刷技術，該單元配備了預對準階段和先進的閉環光束定位控制。它還具有高度動態的多軸光束導向機和高速掃描能力。該工具采用自動對準、曝光和邊緣侵蝕控制資產進行設計,以確保陣列制作過程的準確性、可重復性和控制。此外,CYMER 5300還采用了集成計量模型,以確保過程控制和圖像質量。此外，該設備提供了真正的動態梁偏轉一致的打印性能和最高的圖樣保真度，即使在光纖水平。該系統使用額定總功率超過20瓦的激光光源，由5 kHz、脈寬調制、熄滅Q開關激光器和配有相互連接光學器件的光束輸送單元組成。此光源可照亮和控制陣列制作過程,提供廣泛的曝光角度、高通量、大孔和小孔以及集成的校準功能。5300還包括直觀、用戶友好的用戶界面,具有靈活的操作設置和高效的聯鎖管理。它將精密的機械性能與先進的數字控制系統相結合，提供可靠和可重復的電子光刻結果。是高批量、高精度IC生產的理想選擇。