二手 CYMER 5400 #293667156 待售

CYMER 5400激光器是一種脈沖準分子激光器，用於高級光刻、薄膜沈積、蝕刻和非線性光學等應用。這種激光器由CYMER, Inc.公司於1995年推出，具有高效率的設計，能夠在其全部諧振頻率範圍內產生超過75瓦的輸出功率。5400的獨特設計包括一個8彈跳光學諧振器，它在紫外線（UV）和深紫外線（DUV）波長範圍內全向發光。激光使用ArF（193 nm）、KrF（248 nm）和/或XeCl（308 nm），以產生多種激光脈沖，從單納秒或雙納秒到紫外線次皮秒脈沖。該激光器是一個獨立的單元，包括校準、控制、操作和反饋元件，此外還有一個光束傳遞光學子系統，能夠傳送幹凈穩定的激光脈沖。該機組配備了10 GHz抖動功能，用於快速精確的頻率設置，以及內部溫度控制器和主動壓力穩定系統。這使用戶能夠在整個溫度和壓力範圍內實現一致和可重復的性能。CYMER 5400具有可調的總輸出能量、脈沖重復頻率、脈沖寬度設置，並與氮、六氟化硫、氯化氙等廣泛的氣態介質兼容。此外，該單元還內置了機械和電氣聯鎖的安全系統，以確保用戶在操作過程中的安全。5400還包括一個自動清除循環，以防止在突然的壓力事件（例如電源故障）時損壞激光的光學元件。綜上所述，CYMER 5400是一種高功率、堅固耐用的激光器，為用戶提供廣泛的精細控制範圍、最大輸出能量以及可靠的內部安全系統。它是一種用途廣泛且可靠的工具,非常適合多種類型的應用,其靈活性和性能使其成為許多行業的首選激光器之一。