二手 CYMER 5400 #9237253 待售

CYMER® CYMER 5400是一種健壯、高精度的激光器，由CYMER, Inc.開發。這種激光設備在制造半導體芯片方面已經使用了25年以上，具有許多特點和好處。它因其強大的功率、快速的脈沖寬度和精確的控制,在廣泛的場景中提供卓越的性能。該激光系統能夠提供100kW的峰值功率,使其能夠有效地處理高達460nm（使用正常照明模式時為450nm）的高長寬比結構。總體而言，由於其用戶友好的人體工程學特性，該單元提供了業界最高的精度水平。這種激光器能夠在70Mbps的最大速度下產生最小直徑150 nm至200 nm、線寬小至75 nm至100 nm的高精度通風孔和溝槽。此外，利用CYMER快速自適應控制（RAC）機提高了激光器的性能。這種先進的控制工具允許用戶控制與激光資產關聯的大多數參數，如波長、光束形狀、功率、脈沖持續時間、操作重復率以及光束與基板的對準。該型號還采用了獨特的「Active-Shield」技術,可幫助將處理時間提高32%。這種技術通過減少基板的熱損傷來防止電路的損壞。此外,該激光器的設計非常可靠、準確且用途廣泛,可在各種制造環境中提供一致的高質量結果。5400激光是需求驅動、高容量和低容量應用的理想平臺。該設備將高功率調制脈沖激光器的所有優點與最先進的控制技術和人體工程學設計相結合，從而能夠以極高的精度更快、更精確地進行處理。無論是薄膜沈積還是蝕刻和直接光刻，CYMER 5400都為半導體器件和層壓制造商尋求可靠、高效、高精度的操作系統提供了最佳解決方案。