二手 CYMER 5600 / 5610 #9030427 待售

CYMER 5600/5610激光器是由CYMER, Inc.開發的超高功率、單束激光器，用於極端微電子和晶圓尺度的曝光目的。這些激光器廣泛應用於半導體芯片、集成電路（IC）、無源元件和其他微電子元件的生產中。5600/5610激光器提供了光刻的最高功率、最短脈沖和最高重復速率。CYMER 5600/5610激光器是基於Multi-Stripe技術，一種獨特形式的二極管泵浦，MOPA（Master Oscillator Power Amplifier）固態激光器。這項技術將來自單個激光頭的多個窄帶寬激光束結合到單個高功率激光脈沖中。Multi-Stripe設計方法將傳統上與其他二極管泵浦激光設計相關的非線性效應降至最低。由此產生的短脈沖激光設備具有光束光斑尺寸，可以量身定制以滿足特定的系統要求。5600/5610激光器產生10kW以上的高功率峰值功率,重復率高達100kHz。這些激光器的短脈沖持續時間通常為10納秒,其峰值功率比其他高功率激光器平臺高一個數量級。此外，CYMER 5600/5610激光器具有先進的功率穩定和能量管理功能，從激光單元保證最大限度的光束穩定性和長期可靠性。這些激光器的設計實際上消除了顯示偽影，並在曝光光掩模和薄膜設備時提供了出色的視覺效果。5600/5610激光器采用數字掃描控制,可實現真正的次像素分辨率和優越的陣列效果。該激光器還設計用於低光束散射，以確保精確聚焦和良好的覆蓋精度。在晶片尺度曝光環境中，CYMER 5600/5610激光器特別針對高分辨率、透鏡成像進行了優化。激光器提供快速的掃描速度和改進的處理能力前景。5600/5610系統經過了廣泛的現場測試,其設計目的是滿足商業生產中最嚴格的工藝要求。在微電子生產方面，CYMER 5600/5610激光平臺提供了業界最高的峰值功率和最短的脈沖寬度。這使得它們成為光刻、蝕刻、高密度互連制造、微量包裝、MEMS制造等極端微電子應用的理想選擇。5600/5610激光器具有高功率和短脈沖能力,為微電子器件生產提供了最高效率的機器,可實現最高的吞吐量和最佳的器件產量。