二手 CYMER ELS 5300 #293797423 待售

CYMER ELS 5300是一種動態準分子激光器，廣泛應用於半導體芯片的制造。這種先進的設備由計算機控制的、密封的激光室組成，提供高能光脈沖。腔室壓力穩定，內部環境高度優化，達到峰值效率。在其核心，CYMER ELS-5300以高達5.0千瓦（kW）的峰值功率產生193納米（nm）波長穩定的激光脈沖。這是通過一個由兩個獨立的準分子激光頭組成的復合光學系統來實現的，每個半分子激光頭都能獨立產生多達2.5kW個。通過改進橫向光束穩定性的先進位置感測機和專門設計的「功率穩定」工具進一步增強了光學裝置，以優化強度隨時間推移的穩定性。除了強大的準分子激光器設置外,ELS 5300還具有高精度步進電機和高度自動化的管道內風扇資產。步進電機可實現快速、高效的曝光時間,而風扇管內模型可為準分子激光頭提供卓越的冷卻效果。ELS-5300可以隨附各種可選附件,包括UV分離器模塊和高通量掃描系統。這些配件使設備能夠進行調整，以滿足不同應用的具體需求。總體而言,CYMER ELS 5300是一個功能強大、可靠且設計精良的準分子激光系統,非常適合用於先進的半導體制造工藝。其用戶友好的界面和種類繁多的可選配件使其成為一種適應性強、經濟實惠的選擇。