二手 CYMER ELS 5300 #9245310 待售

CYMER ELS 5300是一款激光設備，專為光刻、蝕刻、退火、紋理等多種半導體制造應用而設計。這種強健的系統提供了高質量、統一的處理能力，具有靈活的單元設計和高級軟件。搭載5 kW Yb光纖激光器、超穩定、高透射激光束輸送機和先進的掃描能力。風冷的Yb光纖激光器在長工作距離上以連續、均勻、穩定的光束產生5 kW的輸出。它提供高功率性能,延長了使用壽命,且維護效率低。激光光束傳送工具利用先進的檢流計和壓電驅動的掃描技術對工作區域進行精確掃描，以精確放置激光鏡頭。先進的數字控制資產通過方便地訪問用戶定義的配方來滿足各種處理要求,從而提供卓越的流程性能。它還具有智能自動對焦和功率控制功能,可自動設置最佳處理條件,消除校準時間,並提供統一、高質量的結果。CYMER ELS-5300還配備了集成視覺模型和過程監控功能，以確保準確性和安全性，同時提供全面的過程控制。ELS 5300激光設備是滿足半導體制造需求的強大而通用的解決方案。它提供卓越的性能,具有一致、高質量的流程、高吞吐量和高系統可靠性。5 kW輸出、均勻的光束質量、先進的掃描能力、智能的自動對焦和控制功能，為廣泛的先進光刻、蝕刻、退火、紋理要求提供了完美的平臺。