二手 CYMER ELS 5300 #9260804 待售

CYMER ELS 5300是一種中度至大批量生產的半導體加工激光器。它利用下一代諧振器光學器件提供了強大可靠的激光源。CYMER ELS-5300提供多種激光參數，允許高達5 kW的最大輸出功率和高達8 kHz的脈沖頻率，使其成為深紫外線光刻和高容量處理應用的理想選擇。ELS 5300融合了多種先進功能，包括集成光纖輸送設備、先進的冷卻室和可靠的多軸運動系統。這允許精確控制激光的時空特性和同步激光脈沖。ELS-5300的核心是其先進的諧振器光學器件，包括一個專利的雙級設計，其中包括優化的反射鏡和一個高質量的真空室。這提供了改進的光束特性和降低的能量損耗,從而實現了更快的處理速度和更高的吞吐量。CYMER ELS 5300配備了一種新型的氣體填充裝置，旨在為應用目的在氣體類型之間快速切換，如蝕刻或選擇性沈積。這臺機器還允許引入光學輔助設備，例如液晶偏振器，以實現對光束特性的精細控制。該激光器被設計為作為多階段生產工藝的一部分，具有與其他半導體加工系統和設備連接的標準接口。這包括電源和監測系統，以及用於記錄和監測激光輸出質量的軟件套件。歸根結底，CYMER ELS-5300激光是精確、大容量半導體生產的理想選擇。其獨特的特點組合，如它的雙軸諧振器光學和充氣工具，使快速，可靠的處理與功率和精度的最佳平衡。