二手 CYMER ELS 5400 #293794151 待售

CYMER ELS 5400是專門為高級激光微處理應用而設計的準分子激光器。這套激光系統是最先進、實時的3D剖析激光器之一，可用於半導體器件的制造、研發以及其他類似的工業應用。5400在248 nm時具有極高的1.5 kW平均功率,同時具有卓越的穩定性和優越的光束指向精度,能夠對小特征進行精確的蝕刻和鉆孔。這種激光器還能夠提供廣泛的工作波長和脈沖能量。CYMER ELS-5400是一種可靠、靈活、多功能的工具,經過精心設計,明確註重可擴展性和可靠性。它的體系結構有助於集成、可維護性和維護,使其能夠高度適應各種工業需求。為了幫助用戶進行激光對準和過程故障排除,5400還包括一套內置的可調離散診斷和遠程監控功能。5400由高頻、射頻激發、環形的閃光燈陣列提供動力，從248 nm的短波長以極高的功率提供即時激光能量。這種激光器可輸出高達30 kHz的全脈沖能量，並利用最新的脈沖成形技術提供卓越的能量穩定性和短脈沖長度。憑借緊湊的占地面積和先進的光學設備,5400使用戶能夠以更高的精度和效率處理各種尺寸的結構。5400先進的光束控制特性包括主動低光束密度（LBD）技術,這是一種根據加工環境自動調整EQM、優化切削速度、減少加工誤差和延長光學元件壽命的獨特特性。此外,ELS 5400還配備了真空室和外殼,適合在高濕度和灰塵敏感環境中運行。總體而言，ELS-5400是一種精確度和通用性無與倫比的下一代準分子激光器。從設備制造到表征和測試,5400非常適合最苛刻的應用。