二手 CYMER ELS 5400 #9188511 待售

CYMER ELS 5400是為一系列工業和研究應用而設計的最先進的準分子激光設備。它結合了優越的激光源技術和精確的控制系統，使其能夠為最精確的應用提供最佳的照明。這種激光器以其高功率、堅固的設計和廣泛的波長而聞名，使其成為制造薄膜沈積、光刻、微加工等工藝的理想工具。它能夠以400瓦的平均功率運行，標稱輸出波長從248納米延伸到308納米。CYMER ELS-5400具有集成的三軸電動掃描儀,可提供精確的高速掃描功能,以及高度精確的光束掃描和定位。這樣可以進行精確的成像,並且可調節的準直光學器件有助於調整輸出光束點的形狀、大小和位置。獲得專利的高脈沖模式可減少脈沖到脈沖的抖動,並在執行對準時提供高精度。這確保了各種光刻應用的精確光束定位和對準。激光系統還包含幾個先進的安全功能來保護用戶。這包括一個專有的激光監護裝置，用於監測激光的操作，並在發生任何意外異常時將其關閉。它還有一個激光束互鎖機器，可以防止激光意外激活，確保光束正確瞄準目標。此外,ELS 5400還提供出色的客戶支持和維護。板載診斷和診斷軟件工具允許輕松進行故障排除和維護幹預,因此將停機時間保持在最低限度。可選的燈絲更換套件包括所有必要的零件和組件,允許操作員快速更換磨損或有缺陷的組件,從而減少維護所需的時間。ELS-5400提供了一種功能強大、可靠且功能強大的激光工具,可在廣泛的工業和研究應用中實現最高的精度和性能。它結合了優越的激光源技術和精確的控制系統，使其成為最苛刻的應用的理想工具。