二手 CYMER ELS 5400 #9293807 待售

CYMER ELS 5400準分子激光器是在微電子和半導體制造領域使用的一種功能強大、用途廣泛的工具。CYMER ELS-5400是一種脈沖氙氯激光器，能夠產生193nm的波長。這種波長非常適合於各種半導體材料的蝕刻和制圖以及用於半導體器件光刻和制圖過程的光掩模的修復。ELS 5400使用玻璃和金屬光腔以及內部冷卻設備構建,以確保系統安全高效地運行。它可以以極快的激光脈沖提供高能量密度，並且具有直徑在0.7 µm至15 µm之間的可調光斑大小。用戶可以根據自己的需要選擇各種脈沖持續時間和峰值能量。ELS-5400配備了離子流監控器和濕度指示器，以幫助保持設備內的溫度控制，以及可見激光二極管來檢查機器的狀態。CYMER ELS 5400旨在為用戶提供高度精確的消融策略,同時保持低擁有成本。其用戶友好的管理和控制工具使得在微電子器件和部件的生產中易於使用和獲得一致的結果。CYMER ELS-5400提供多種選項,包括集成的自動化和手動處理、整數控制級、對多個激光頭的支持,以及提供視線或鐵芯光束以實現極高精度的選項。利用先進的光學設計和控制技術,在目標區域提供光束質量值最高為M 2<1.7且均勻性小於0.2%的優越光束特性。總體而言,ELS 5400是需要高精度和精確控制的半導體制造過程中必不可少的工具。它將能量、速度、光斑大小和可調編程相結合，使其成為各種應用的理想選擇。