二手 CYMER ELS 5400 #9300111 待售

CYMER ELS 5400
製造商
CYMER
模型
ELS 5400
ID: 9300111
優質的: 1997
KrF Laser 1997 vintage.
CYMER ELS 5400是一款高功率、高性能的激光設備,設計用於維修、返工和無損材料檢測(NDI)應用。該系統由5400 mJ/二極管泵浦的Nd: YAG激光源供電,脈寬降至5ns。它采用高精度的電動XY級,視野可達500 x 500 mm。該單元在CW和脈沖模式下都支持從410 nm到532 nm的寬範圍激光波長。為確保精度,CYMER ELS-5400配備了HiPER(高精度智能輻射)機器,其動態測量範圍可達10.9 mJ。該工具還配備了光束直徑調節器(BDA),允許用戶調整光斑大小以適應不同的應用。ELS 5400具有光束發散、光束均勻性、極化等優異的光束特性。對於成像,ELS-5400使用全視頻速率、全幀成像,最低分辨率為30 μ m。它支持與像素無關和特定於像素的成像。與成像軟件(CYMER Studio)緊密集成,可完全控制設置,如脈沖調制、脈沖形狀、脈沖中心和寬度、焦點調制以及掃描速度。該資產還能夠自動縮放和聚焦以獲取微觀特征,以及激光燒蝕,可用於去除薄層材料。此外,CYMER ELS 5400具有眼部安全互鎖、光束掃描場極限、光束點oforigin保護等多種安全特性。該型號還設計滿足包括CFR 21 Chapter 1、ISO 13485:2016、IEC 60825在內的多種監管標準。總體而言,CYMER ELS-5400是一種先進可靠的激光設備,適用於維修、返工、NDI等應用。它具有強大、高性能的激光源和高精度的電動XY級。憑借廣泛的激光波長和出色的成像能力,該系統可以提供高度精確的結果,具有最大的靈活性。其綜合安全功能也有助於確保安全運行。
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