二手 CYMER ELS 5400 #9366025 待售

CYMER ELS 5400是一種準分子激光光源，設計用於光刻和微加工應用。它具有優異的光束特性和可靠性，非常適合廣泛的生產過程。CYMER ELS-5400產生波長在193-335 nm之間的紫外線輸出，提供精確、可重復的處理結果。其優越的光束特性使其能夠對芯片、鏡片和其他小零件上的微小特征進行精確、精細的切割、成型和鉆孔。其高於400 pps的高脈沖速率保證了真空和退火過程的快速準確完成。ELS 5400還具有很高的可靠性和可重復性,因為其先進的電源設計始終保持穩定的輸出。此外，它的模塊化和精確的計量能力允許容易成像，即使復雜的掩模設計。其卓越的掃描速度高達494毫米/秒,確保快速完成作業,而其現場和重塑功能,再加上激光電極總功率的降低,可加快曝光速度並提高生產效率。此外，它的雙光束傳遞系統有效地傳輸和旋轉光束，從而導致高度精確的成像。ELS-5400具有多種安全功能,使其操作安全,而其圖形用戶界面可輕松控制和監控系統。此外,它的高激光功率穩定性和較長的使用壽命（最低可達100萬次射擊）,確保了持續的性能和較低的維護成本。最後,CYMER ELS 5400具有高性能、高精度、高速度、高可靠性和低維護成本,是微機加工和光刻工程的理想選擇。其先進的特征集和光束傳遞系統使其成為復雜設計和快速產生高質量結果的理想選擇。