二手 CYMER ELS 5405 #9251523 待售

CYMER ELS 5405
製造商
CYMER
模型
ELS 5405
ID: 9251523
優質的: 1997
System 1997 vintage.
CYMER ELS 5405是設計用於精密激光燒蝕應用的第五代準分子激光器。它是一種先進的激光設備,利用了有史以來生產的最強、最可靠的準分子激光源之一:200瓦、5 kHz、405 nm的氙化物準分子激光。這種激光器提供了比它的前輩更好的強度控制,允許用戶實現高度精確和可重復的燒蝕深度。它還具有獨特的激光二極管模塊,可產生高度可重復的低能脈沖,從而進一步提高燒蝕過程的精度。激光封裝在真空室中,增加了光學穩定性和效率,需要定期維護。它有一個獨特的計算機控制快門系統,精確控制每個激光脈沖的停留時間和功率。這就產生了精確的燒蝕深度,在同一基板上的變化範圍很小。該單元還管理準分子輸送光束的光譜純度和能量均勻性,從而實現一致的切割性能。CYMER ELS5405設計用於大多數類型的光學系統,包括顯微鏡物鏡、激光大教堂、泵浦光掩模和反射光學。其顯著增強的性能還允許一系列極其快速、低復雜度的激光掃描應用。這包括在納秒內掃描到128 x 128分辨率。此外,該機器還提供了方便的設置和操作.利用其標準的控制界面,用戶可以快速輕松地設置激光參數並開始切割。該工具還提供了額外的遠程訪問,並使用戶能夠訪問資產並通過外部控制系統對其進行控制。ELS-5405還包括激光互鎖、快門監視器和光束監視器等安全功能。這些功能確保用戶能夠安全地使用模型,並將發生事故的風險降至最低。總體而言,ELS 5405激光是一種非常先進和可靠的準分子激光燒蝕源。其廣泛的特性、高端性能以及卓越的安全措施使其成為精密激光燒蝕應用的理想選擇。
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