二手 CYMER ELS 5410 #9257268 待售

CYMER ELS 5410是一款功能強大的激光設備,旨在滿足當今半導體制造環境中最嚴峻的需求。該系統利用激光源的脈沖控制來實現最佳的吞吐量和最佳的材料去除速率。該單元構建在一個易於操作和維護的穩定、工業級平臺上。它包括精密直線電動機,用於絕對水平的運動控制,具有出色的精度和可重復性.CYMER ELS-5410還具有一個漸進式掃描機,以確保精確的光束傳遞.ELS 5410的大X、Y和Z行程使得它成為最困難的激光工藝的理想選擇。該工具的激光源可提供最高的利用率和正常運行時間,同時可容納多種材料。激光源的脈沖功率易於調節，以優化材料去除率，更好地利用工藝窗口，同時還可以控制脈沖重復速率，最大限度地減少熱漂移。ELS-5410的集成控制資產與各種激光硬件和機器人技術無縫配合使用,非常適合在自動化環境中使用。該模型包括用於編程過程步驟的直觀GUI，用戶定義的參數可以快速更新。安全始終是一個問題,CYMER ELS 5410通過密封激光操作、緊急互鎖系統和石英屏蔽窗口等功能解決關鍵問題。激光設備的電氣安全已通過認證，符合目前德國和歐洲工業用途激光標準。總體而言，CYMER ELS-5410激光器為半導體制造商提供了最具挑戰性的應用的可靠工具。其高功率、精確度、廣泛的工藝參數和堅固的安全特性使其成為當今領先的工業激光系統之一。