二手 CYMER ELS 6300 #154882 待售

CYMER ELS 6300是一種高功率準分子激光器，用於半導體器件制造、平板顯示器生產、先進光刻等先進晶圓加工應用。這種激光器設計用於大容量、大面積處理，是CYMER提供的最強大的ELS系列。6300配置有光學泵送定時脈沖激光，由每脈沖300 mJ能級的AR-F激光氣體混合物供電。光束是通過一個開放的組合光學設備產生的，該設備使用球形和圓柱形透鏡和導流鏡的結合來實現平滑過渡，而不會產生焦點失真。輸出功率密度高達20 Watts/cm2可實現清潔光刻模式和快速生產線。這種激光器還能夠在低脈沖能量設置下快速消融，從而在蝕刻和沈積應用中實現更高的工藝吞吐量。6300的專利先進脈沖定時控制技術熱控制系統，通過特殊算法允許更大的峰值功率控制，並兼顧壓力、溫度和激光單元穩定性等關鍵環境因素。該激光器還具有內置的基於MEMS的光束穩定性機器,可在+/-0.5mJ內提供出色的光束形狀精度和均勻性。此外,它還提供簡單直觀的維護,以加快操作速度並減少停機時間。用戶可以使用其內置以太網連接遠程調整和更新設置。ELS 6300經過CE認證和ISO認證，使其成為先進晶圓處理應用的可靠可靠的選擇。憑借其廣泛的先進功能和可靠的性能，它是目前市場上最好的激光系統之一。