二手 CYMER ELS 6400 #9257275 待售

CYMER ELS 6400是設計用於生產半導體器件的高性能激光系統。它是一種可靠、堅固和高功率的激光源，能夠在各種激光目標上產生更短、功率更高的激光脈沖。CYMER ELS-6400具有多橫向光束發射方案，允許它在最多八個激光目標區域內產生單、雙或三脈沖。這樣可以在更短的時間內實現出色的覆蓋範圍和卓越的處理質量。激光在連續波（CW）或脈沖模式下運行，輸出功率可在可調節脈沖寬度的大範圍內調節。它的脈沖持續時間可以針對高靈敏度應用量身定制，能夠產生短至1皮秒（1 x 10-12秒）的脈沖。ELS 6400具有多種高級功能,包括高光功率輸出,可提高吞吐量和提高產量。它還包含了幾個先進的安全功能，如過溫/過壓保護和激光互鎖，以保持高激光精度。激光可應用於多種應用，如叠加校正、精確曝光校準、去除厚厚的光刻膠層以及光刻膠層的精密幹蝕刻。ELS-6400基於二極管泵浦固態平臺，能夠提供高平均功率和高精度定時。該激光器包含光纖耦合激光頭,以確保精確的光束指向和定位,並帶有用於啟用/禁用/延遲實際激光脈沖的脈沖選擇器,以及可調節的顯示元件。CYMER ELS 6400配備了內置診斷功能，以及用於遠程控制的USB轉換器接口。這種多功能激光系統提供清潔、高效、準確的性能,總擁有成本較低。該機操作方便，可靠性高，是生產線的理想解決方案。