二手 CYMER ELS 6400 #9271083 待售

CYMER ELS 6400是一種用於精密光刻的脈沖染料激光器。它采用二極管泵浦固態激光技術，在200飛秒時產生脈沖，提供高通量和一致的結果。脈沖的能量通過使用高達4 kHz的較高重復率而進一步增加。這有助於確保最大限度地減少激光束引起的地下加熱的影響,同時實現所需的打印分辨率。CYMER ELS-6400具有創新的雙光束配置,允許在設備基板的兩個獨立位置同時進行光刻。這意味著高速成像過程可以並行進行,以提高吞吐量。這也允許更高的精度,因為根據基板的特定表面布局對激光束進行精細調整以提高精度。此外,該設備還提供高精度的斑點尺寸控制,提供卓越的打印輪廓和打印非常小的功能。該激光器采用了高效的專利多層抖動能量輸送系統，與單流系統相比提供了更好的動態範圍和更高的速度。這有助於降低激光光源的可變性，改善光刻效果，提高印刷產量。另外，這一單元有助於延長激光源的壽命，因為它需要更少的能量每一個脈沖。ELS 6400附帶了一整套用於控制機器操作的軟件工具。這有助於確保正確設置工具,並確保光刻工藝產生所需的結果。該資產具有自動對焦調整模型,可持續獲得最佳圖像分辨率和結果。此外，激光帶有廣泛的安全特性，包括對主動激光安全措施的高度重視。設備采用各種方法限制激光對操作員的暴露，包括操作員的防護眼鏡和聯鎖。這樣可以確保激光的操作方式將對系統用戶的任何潛在風險或傷害降至最低。總體而言，ELS-6400是一種強大、可靠和安全的激光精密光刻。它提供卓越的性能和高吞吐量,同時確保操作人員的準確性和安全性。