二手 CYMER ELS 6400 #9410300 待售
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ID: 9410300
Laser
High Voltage Power Supply (HVPS)
Commutator
AC Distribution module
Line Narrowing Module (LNM)
Compression head
Chamber
Wavelength Stabilization Module (WSM)
Gas module
Cooling module.
CYMER ELS 6400是一款最先進的準分子激光器,專為電子工業中先進的半導體加工應用而設計。它基於陶瓷Longpulse技術,意味著激光脈沖持續2-4ms,允許更精確和受控的蝕刻。CYMER ELS-6400提供適用於先進半導體技術的廣泛功能和功能。它具有高對偶性462nm波長,短脈沖持續時間(2-4ms),以及提供快速響應和可重復結果的高速快門。脈沖寬度、幅度、功率可根據客戶需求進行調整。激光在高功率、低噪聲、高靈敏度模式下運行,具有優異的光刻性能。它可以在多種材料上工作,如玻璃、矽、金屬和厚度和工作範圍廣泛的陶瓷。它也與多種光掩模兼容,使其適合各種類型的應用。此外,ELS 6400還提供了許多過程控制選項。其中包括顯示器/控制器模塊、塔架、烤箱以及一系列光刻和蝕刻配置。工藝控制旨在確保半導體制造的最大性能和準確性。ELS-6400是一個高度可靠和強大的系統,適用於先進的半導體加工。它提供了廣泛的特性和功能,使其成為電子行業中最先進的激光器之一。該系統的靈活性和執行復雜功能的能力使其成為具有最復雜要求的半導體制造設施的理想選擇。
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