二手 CYMER ELS 7000 #293656110 待售

CYMER ELS 7000激光器是由CYMER開發制造的準分子激光器源。這種激光模型主要用於納米級器件的制造，包括先進的微電子和納米電子。這種激光器的設計目的是制造三維光刻結構，這對於任何大規模的芯片生產都是必不可少的。ELS 7000采用可靠可靠的LD ArF （193 nm）準分子激光設計,以滿足半導體和納米技術行業日益增長的需求。這臺設備是一臺轉換後的標準ArF激光器，單波長為193nm。它包括一個6英寸的激光腔室和從0.8 kW到2.5 kW的一系列額定功率選項。激光系統主要用於光致抗蝕劑制圖以及發展化學氣相沈積（CVD）應用。CYMER ELS 7000單元還配備了能夠收集過程中數據的集成激光功率生產率監測機。此工具有助於提供可追蹤性和產品質量控制,從而提高最終產品的產量和可靠性。此外，該資產還具有脈沖連續性和脈沖控制技術，允許快速、穩定的激光脈沖源，從而進一步加強對關鍵過程層的控制。總體而言,ELS 7000激光器非常適合工業生產半導體處理器,以非常實惠的價格提供可靠、高功率的操作。其強大的單波長和不斷改進的激光源設計使其成為納米技術應用的理想之選，而集成監控模型提供了確保產品質量和可追蹤性的高效、經濟高效的方法。