二手 CYMER XLA 140 #9296982 待售

CYMER XLA 140是一種光源，用於半導體制造的光刻工藝。它能夠在40 Hz時產生高達140 mJ的強大激光脈沖，非常適合用於先進的微加工應用。CYMER XLA140是一種固態混合準分子式激光器，具有結合Nd： YAG和KrF有源介質的獨特光學設計。該系統采用易於操作、高度靈活、用戶友好的體系結構設計，其最大脈沖能量可根據特定應用要求進行調整。脈沖能量控制範圍為5-140 mJ，持續時間低於皮秒，脈沖對脈沖穩定性在5%以內。該系統還具有高分辨率的空間振幅濾波器和先進的電源設計，可提供零抖動的脈沖觸發。XLA-140旨在滿足中低功率光刻的需要。它有一條集成的高精度水冷光束管線，設計用於輻射光束參數的高效、低風險前後調節。這樣可以確保光束質量一致,降低操作成本以及熱載荷的潛力。激光由單個準分子激光器操作，總能量功率為4 kW，輸出功率高達50,000 W/cm2脈沖強度。通過標準的208 VAC、20安培輸入,可以輕松滿足電源要求。XLA140還有一個緊湊的足跡，尺寸為13.9 "（H） x 40.7" （W） x 52 "（L）。它既能正常安裝，又能反向安裝，具有高水平的隔振特性。CYMER XLA-140易於安裝,功能先進,擁有成本低,是滿足各種精密微加工需求的理想選擇。