二手 CYMER XLA 160 #194711 待售
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ID: 194711
Laser for Canon AS3/AS4
Specifications:
Wavelength: 193nm
Average output power: 45W
Pulse energy: 11.25mj
Max. rep rate: 4000 Hz
Bandwidth (FWMH): <0.25pm
2003 vintage.
CYMER XLA 160是由ASML Holding NV的子公司、全球最大的用於半導體光刻的光源供應商CYMER, Inc.設計制造的高功率脈沖激光器。CYMER XLA160是一種二極管泵浦的全光纖激光器,其設計可提供先進的穩定性特性和超強的亮度。在單脈沖模式下可產生高達160 mJ或26 W的脈沖能量,脈沖重復率高達100kHz。XLA 160中的技術利用了分布式布拉格反射器(DBR)和包層泵浦光纖激光器(CPFL)體系結構。通過采用單模增益截面進一步提高了激光的光束質量,改善了光束輪廓和角度分布。這些特性,加上激光的大型M2,創造了一個高度可靠,穩定的光源,將提供復雜的光刻解決方案。XLA160的設計旨在滿足行業對更高能級和嚴格穩定性要求的需求。它在長壽命內保持精確和一致脈沖能量的能力對於先進光刻領域的人來說是無價的。隨著集成電路設計功能的不斷縮小,情況尤其如此。通過提高帶寬和脈沖到脈沖的穩定性,CYMER XLA 160有助於在先進的光刻應用中發揮領先作用。其卓越的可靠性和小尺寸使得CYMER XLA160激光市場的熱門選擇。它設計緊湊,長度只有250毫米,很容易融入現有的激光外殼。XLA 160熱穩定,利用專有的熱管理和夾緊技術,無論環境溫度變化如何,都能保持最佳性能。XLA160不僅是一種堅固可靠的激光器,而且具有成本效益。憑借穩定的輸出功率和高度可靠的平臺,CYMER XLA 160無需昂貴的備件,從而簡化了維護並降低了運營成本。總體而言,CYMER XLA160是一種先進的激光器,它為光刻市場帶來了許多強大的功能。它提供高功率的脈沖能量,路徑長度的鎖定架構,優越的光束質量和角度分布,以及可靠的長壽命。此外,其卓越的散熱管理和精確度,加上經濟高效的設計,使XLA 160成為尋求光刻先進能力的人們的一個有吸引力的選擇。
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