二手 CYMER XLA 160 #9177760 待售

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製造商
CYMER
模型
XLA 160
ID: 9177760
Laser Wavelength (Center): 193.386 nm Repetition rate: 1 to 4000 Hz (1 Hz increments) Nominal pulse energy: 10 mJ Average output power: 40 W Pulse duration (TIS): ≥45 ns Duty cycle at 4 kHz: 75% Spectral bandwidth (FWHM): ≤ 0.2 pm Spectral bandwidth (E95%): < 0.65 pm Short term wavelength stability: ≤ ± 0.025 pm Horizontal beam size: 11.1 ± 1.1 mm Vertical beam size: 9 ± 0.6 mm 11.6 ± 0.6 mm Horizontal beam divergence: 1.75 ± 0.75 mrad 0.55 ± 0.35 mrad Vertical beam divergence: 2.75 ± 0.75 mrad 1.2 ± 0.5 mrad.
CYMER XLA 160是由CYMER, Inc.開發的高功率定向能量激光器。設計用於精密光刻、醫學和科學研究,以及工業和國防應用。2005年發布時,XLA 160為這些苛刻的應用做出了高度通用、高效、功能強大的激光標誌。該激光器能夠產生160瓦的峰值功率輸出,其8.5千瓦的低功耗使得它特別適合太陽能、熱能或激光感應等離子體源。它為預期的應用程序提供了靈活性、多功能性和價值。CYMER XLA 160采用單一光學元件的多功能整體設計。它配置了四鏡光學設備,為激光提供了自動光束調節能力,並允許激光在連續波(CW)和脈沖模式下運行。這一獨特的特性使得它成為少數能夠在CW和脈沖模式之間即時切換的激光器之一。通過利用脈沖模式操作,激光可以提供比其CW模式更高的輸出功率水平。XLA 160結合了高速微處理器控制的光束轉向系統,允許以納米分辨率進行光學相幹斷層掃描(OCT)成像。光束轉向精度是通過閉環控制和光束轉向光學系統相結合來實現的。它還利用先進的精密對準裝置來優化激光光束相對於OCT成像光學的定位。安全也是CYMER XLA 160的關鍵特性。該激光器具有眼睛安全光束(其設計目的是防止用戶意外暴露於激光束中),並利用符合IEEE-488要求的控制器進行安全操作。所有設置都是可調的,可以遠程監控。XLA 160是一款可靠、節能的激光機器,性能卓越。它易於使用的控制和廣泛的應用,使其成為工業、研究和國防應用的理想選擇。此外,CYMER XLA 160具有先進的光束轉向技術、低功耗和先進的安全特性,是激光光刻和其他要求苛刻的激光應用的首選。
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