二手 GIGAPHOTON / KOMATSU G20K2 #293653984 待售

GIGAPHOTON/KOMATSU G20K2晶片步進器是一種高精度光刻設備，用於半導體工業上在晶片上創建精確的圖樣。它利用有圖案的紫外線在晶圓表面上創建精確形狀的遮罩。KOMATSU G20K2擁有一個精密的基礎設施-能夠生成高達20毫米的精確圖像-包括空氣系統、溫度控制單元、真空機和電源工具。GIGAPHOTON G20K2配備了高分辨率和精密晶片級,該級使用定心機構來確保晶片相對於光刻資產的精確對準。這有助於確保晶圓表面的均勻圖樣並保持高產率。此外,還提供了一個可選的晶片支架,可用於加載多個晶片並便於操作。G20K2能夠支持一系列曝光技術，包括照片和電子束光刻。攝影技術使用常規紫外線，尺寸範圍從5納米到1微米。電子束光刻稍微精確一些，使用1至4納米範圍的電子束。GIGAPHOTON/KOMATSU G20K2的設計可容納各種晶圓直徑,與尺寸可達450毫米的基板兼容。此外，該模型高度自動化，具有自動配方重新加載和自動掩模對準校準等特點。這有助於減少人為錯誤並確保結果一致。最後，KOMATSU G20K2配備了一系列設備維護選項，包括光刻室的快速輕松清洗、自動系統維修以及遠程監控選項。這些功能有助於最小化停機時間並確保高效運行。總體而言，GIGAPHOTON G20K2是一個可靠和精確的晶片步進裝置，能夠在晶片上產生精確的圖案，具有一定的技術範圍和直徑。其精密的設計和自動化功能有助於確保一致性和減少停機時間,使其成為任何半導體生產線的絕佳選擇。