二手 ABM 350W #9227481 待售

ABM 350W是為半導體工業中的光刻應用而創建的掩模對齊器。它是一種能夠自動對準、曝光和開發各種基板的模塊化設備。一個半導體晶圓放置在Aligner Base Module中；然後使用對齊器讀取器模塊從掃描相機檢測光掩碼對準和圖像位置。隨後的對齊算法用於調整基板的位置以匹配掩模的位置。350W的光學設備包括數碼相機、高亮度燈和傳輸8 X投影儀。動態對齊過程由一個閉環系統引導，該系統可以快速調整自身以補償對齊失調。數碼相機精確度高，能夠解決微觀尺寸特征。ABM 350W的Exposure Module（曝光模塊）裝有一個400W的氙燈，用於將光掩模暴露在基板上。通過控制燈的強度和曝光時間可以精確調節曝光。最後，350W開發模塊旨在開發基板的裸露區域，為去除剩余的光致抗蝕劑提供一個可控的過程。它為具有不同高度和寬度的凸起觸點、通風孔和陣列晶片等特征提供了最佳開發條件。ABM 350W為微電子和光電子應用提供了高精度、自動化的光刻工藝。它的模塊化設計允許靈活性和可擴展性,並提供高分辨率、低失真成像單元,用於精確的對齊和叠加測量。再者，它的閉環機器允許連續的過程優化，從而提高了第一次通過的產量和可重復性。