二手 ABM 6/350/NUV/DCCD/M #293778198 待售

ABM 6/350/NUV/DCCD/M是一種用於微加工過程的最先進的掩模對齊器。此對齊器適用於兩蒙版和四蒙版工藝,它具有高分辨率和精確度,並具有六軸運動精度。ABM 6/350/NUV/DCCD/M設計用於產生亞微米精度的衍射受限圖樣。它具有先進、高精度的光學元件,可實現精確的對準,並可優化吞吐量和均勻性。掩模對準器具有自動校準的單點對準設備,無需手動聚焦光學器件。這樣,用戶就可以快速輕松地設置系統,而無需冗長的手動校準過程。ABM 6/350/NUV/DCCD/M還具有用於精確特征尺寸控制的可編程孔徑膜片和用於精確特征測量的高分辨率、自動化光學顯微鏡控制。ABM 6/350/NUV/DCCD/M具有高速掩模對準的6-MHz掃描速率,設計用於執行高能和低能曝光過程。它還能夠對激光準時、短脈沖和曝光swaj進行可變調整,從而使用戶能夠優化每項功能的曝光參數。該掩模對準器配有晶圓卡盤加熱器和溫度控制單元，允許輸入和監控準確的溫度數據。包括在ABM中的NUV（近紫外色）源6/350/NUV/DCCD/M產生微米/伏技術的最佳照明波長。DCCD（動態相幹對比度檢測）機還通過精確的對準和放大控制確保增強曝光均勻性。ABM 6/350/NUV/DCCD/M專為高端光刻研究和應用而設計。它允許用戶比傳統的對齊器更快、更準確地生成更高分辨率的模式和處理復雜的層。ABM 6/350/NUV/DCCD/M是按照工業標準構建的,非常適合工業生產。憑借其超精密的對準工具和智能光學，這種蒙版對準器非常適合實現高端的微加工效果。