二手 ADTEC ACP 630A #293598502 待售
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ADTEC ACP 630A Mask Aligner是半導體工業必不可少的工具,用於將光掩模與晶圓對齊,以便準確地顯示制造微芯片的模式。它由雙軸對準器、級控制器和照明系統組成。對準過程從一個空白的半導體晶片被放置到舞臺控制器開始，這允許精確的水平和垂直運動。當通常由石英制成並塗有光敏材料的光掩模放置在晶片上時，需要精確和精確地對齊。雙軸對齊器用於實現這一點，它由提供動態對齊的線性和旋轉電動機組成。照明系統由UV-Lamp和Stop- Prism兩個組件組成。UV-Lamp負責供應紫外線，使光掩模暴露於晶圓。它有一個散光器，將光均勻地分布在光掩模上。「停止棱鏡」用於創建紅外光束,將焦點精確對齊晶圓上的標記點。這進一步提高了掩碼對齊過程的準確性。ACP 630A是一種多合一掩碼對齊器,能夠與+/-2 μ m精度對齊。它以穩健的設計構建，適合工業應用和全天候運營。它還配備了一個高分辨率的攝像頭，允許光掩模與晶圓更好的對準，最大限度地減少不準確性，提高工藝效率。
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