二手 ASYST 0FH3000-001 #9384810 待售

ASYST 0FH3000-001是一種最先進的掩模對齊器,旨在將高精度的光掩模圖樣傳輸到半導體和其他基板上。它與標準的光掩模尺寸兼容，具有多級高精度對準設備。該系統由對稱獨立的x-y表和紫外線接觸成像源組成。0FH3000-001使用四級對準過程來確保極高精度的光掩模放置。它使用兩個傳感器在光掩碼上定位標記,並使用參考光掩碼將掩碼精確對齊基板。然後該單元使用兩個投影幹涉儀來識別每個光掩碼寄存器標記。此信息用於將每個模具相對於基準標記精確地放置在光掩碼上。這樣可確保在光掩模的整個表面積上具有較高的放置精度。ASYST 0FH3000-001還具有多區域視圖字段。此功能允許機器瞄準多LED或多區域照明,以確保在多區域和/或全尺寸光掩模中進行均勻校正。該工具使用區域成像系統與幹涉對準靈敏度相結合，以實現在整個芯片區域上快速準確地放置光掩模圖樣。0FH3000-001設計用於將高精度的光掩模圖樣傳輸到晶圓。為確保高精度和可靠性,ASYST 0FH3000-001采用高精度執行器、零力驅動系統和先進的耐化學材料等先進的光機設計元素,以實現免服務運行。該資產還配備了高分辨率成像源，確保了亞微米光掩模圖樣的卓越性能。綜上所述，0FH3000-001是一種先進的遮罩對齊器，旨在促進高精度的光掩模圖樣轉移到電子生長基板上。它具有多級高精度對準模型和區域成像系統，以確保均勻校正。設備還配備了零力驅動系統和先進的耐化學材料，以便可靠運行。