二手 BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE #9256425 待售
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2014年發布的Brooks BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Aligner是一款全自動Mask Aligner設備,旨在提高Mask Aligner工藝的速度和效率。PRE-300-CE Mask Aligner提供了三種不同的操作模式來滿足研究和生產Mask Aligner應用程序的需求。BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Aligner旨在簡化MEMS、BiCMOS、光電子和微流體元件等設備的生產,並能夠解決復雜的光照問題。該系統是一種通用的機械對齊器,使用真空輔助靜電卡盤將掩模連接到基板上,並使用高精度直流電動機驅動掩模操縱級。PRE-300-CE配備了一套可靠的光學器件和舞臺。它有兩組精密協調的取樣和掩模對準線性階段,以及一個優化的聚焦階段。BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Aligner具有集成的軟件和用戶友好界面,旨在自動控制和後處理暴露的樣品。軟件具有用於對齊對齊過程的實時監視單元。PRE-300-CE Mask Aligner還設計了一種高級真空機,用於處理口罩和基板。BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Aligner憑借其用戶友好的界面和通用的Mask Aligner模式,使用戶能夠快速輕松地滿足生產需求。該工具旨在協助處理光刻、光掩蔽、介電塗層、大氣等離子體工藝、MEMS、BiCMOS、光電和微流體元件的制造等工藝。PRE-300-CE Mask Aligner還與400mm和45nm節點和下節點兼容。它是研究、研發和常規生產設置的理想布局工具。BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Aligner為用戶提供了優化的蒙版和基板處理過程、準確、精確的曝光過程以及可靠且用戶友好的軟件過程。這種資產在布局和生產設置方面已經是一種經濟和流行的選擇。PRE-300-CE Mask Aligner一定能幫助用戶改進生產並減少缺陷和損失。這種模式肯定有助於提高生產過程的效率,減少周期時間。
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