二手 BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE #9409371 待售

BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE是半導體制造過程中使用的掩碼對齊器。該對齊器用於生產集成電路芯片的光刻。它是BROOKS AUTOMATION 300-SF模型的後繼產品,是一種完全自動化的預對齊設備,旨在實現精確的模式傳輸,並獲得可重復、一致的結果。掩模對準器由兩個主要元件組成，一個多軸步進系統（MASS）和一個光學單元。MASS是一個六軸機器人，它將掩模精確定位在微米範圍內。光學機由遮罩照明器、光冷凝器、光學透鏡和晶圓級移動組成。光學器件的設計目的是提供最佳的曝光均勻性，使工具能夠達到高度的臨界尺寸精度。PRE-300-CE場大小為6-7厘米,分辨率為0.5-5微米,具體取決於所使用的校正光學器件。該資產采用0.5/1.0 NA照明器,可實現曝光均勻性、低能帶光學曝光以及改進的加工緯度。該遮罩照明器針對365nm進行了優化，並具有內置的曝光調制，以改善曝光控制時間。它使用一個I-line燈進行曝光，並配有一個雙極電壓調制器，以優化整個曝光場的曝光劑量控制。對齊器具有自動批處理功能，內置150個掩碼的內存容量，可以單獨編程和存儲。該模型支持正向和負向曝光以及模對模和模對圖像配準。它具有自動校準和光束監控的能力，提供快速和準確的面罩模式對準晶片。BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE通過易於使用的圖形用戶界面為高效操作和易用性而設計。設備配備了一套完整的工具，可集成到大批量、高吞吐量的生產環境中。它與多種基板兼容，包括Si、GaAs、InP和SOI，使得它非常適合廣泛的半導體應用。