二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7391-08 #9267822 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 002-7391-08掩模對準器是為光電和集成電路模式設計的高度先進的工具。它能夠為難以訪問的細線和高精度光掩碼制作高分辨率圖樣。面罩對齊器具有計算機控制的X-Y-Theta舞臺，平臺大小為8 「x8」，舞臺運動可重復性為0.5 μ m，以實現更高精度的對齊。雙源、雙頻深紫外線照明源和直線百葉窗提供了高質量的曝光控制和一致、準確的曝光參數。真空卡盤接觸設計允許使用各種基材和厚度進行簡單易行的基材裝卸。此外，掩模對準器還配備了自動對焦功能和數字舞臺定位系統，允許用戶選擇所需的坐標。其中包括一個界面,使用戶能夠直接輸入坐標和陣列幾何數據。此外,可以對設備進行編程以執行預定義的對齊,同時還可以使用可調節的蒙版和舞臺進行手動調整。利用集成的8 「x-6」 x-y光柵激光幹涉儀將激光幹涉儀與滯後型線性級相結合，可以產生精確的圖像。激光束的加熱系統與一個更大的鏡子一起，確保更緊密的對準，從而確保較低的對準誤差。直觀的圖形用戶界面支持其他語言,使用戶能夠快速輕松地獲得高質量的結果。此外,還包括一些安全功能,如可鎖定顯示器和緊急停止。BROOKS 002-7391-08掩模對準器是精密精密的光掩模圖樣和微電子制造的一個極好的選擇，方便可靠。