二手 BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign 542HT #9238460 待售

BSL/BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign 542HT是為集成電路、傳感器和其他微電子元件的接觸和接近光刻而設計的掩模對齊器。它是一種自動顯微光刻設備，允許用戶精確對齊並將光掩模暴露在矽基板上。該系統由機架、掩模對準頭和真空卡盤組成。機架由堅固的合金構成，為單元部件提供剛性支撐。它包含一個氣動驅動的傾斜臂，用於調整掩模對準頭的位置，將掩模旋轉到位，並提供精確、可重復的定位。還配備了可調節的腳部，保證車架水平穩定。遮罩對準頭的設計是用來容納一個光遮罩，以便暴露在基板上。它由電動X-Y級驅動,該級沿x和y軸移動頭部,精度高達200 nm,速度高達20mm/sec。掩模對準頭裝有一個壓力敏感的紅外（IR）網框，精確定位光掩模。頭部還包含一個雙焦點機器，允許用戶調整光軸的焦距。真空卡盤負責底物的拾取、對準和釋放。它由單軸旋轉級和真空卡盤控制模塊組成。旋轉級由步進電動機驅動，允許對基板進行精確和可重復的定位。真空卡盤控制模塊設計用於在真空和大氣壓模式之間切換，提供安全的附著或釋放基板。該工具配備了幾個安全傳感器和一個緊急關閉開關。安全傳感器包括Current Overload Protection （COP）來指示步進電機何時超載，+/-2mm高壓傳感器來指示掩模架何時離開起始位置，以及檢測真空水平波動的真空傳感器。緊急關閉開關連接到機架和馬達，在緊急情況下可用於關閉機器。BSL Micralign 542HT是一種先進的掩碼對齊器,旨在提高顯微光刻過程中的吞吐量、質量和穩定性。它結合了可靠的框架結構、精確的對準和自動控制，使其成為最復雜集成電路接觸和接近光刻的理想工具。