二手 CANON 501 F #68942 待售

CANON 501 F是一種用於制造集成電路的自動掩模對準器，用於將光掩模的圖樣與光刻塗層晶片或其他基板的圖樣精確對齊。對準器能夠將掩模正確定位到幾納米的精度。501 F能夠將掩模和晶片定位在X和Y軸上。真空框架將晶片固定在適當的位置，因為它是由三個微電子平移的，這些微電子可以在X和Y方向上移動，並借助跟蹤運動的編碼器。對於不同的對準過程和不同的運動範圍，可以對三個電動機進行外部控制。為了精確地對準掩模和晶片,使用激光計算與基板表面標記的距離。激光放置在基板上並投射到掩模上，以測量距離並計算對齊值。CANON 501 F的另一個特點是能夠使用反饋過程進行精確的對齊調整。501 F具有內置的氣動快門，以保護面罩和晶片免受塵埃顆粒和其他汙染物的侵襲。氣動快門全自動，可快速開閉。該機還配備了UV照明燈，用於檢查對準的質量。板載監視器允許操作員檢查對齊結果。CANON 501 F配備了二維電機控制設備，允許掩模和晶圓高速對準。電機控制系統準確,響應時間快.該設備還能夠執行定位可重復性,以實現緊密對齊公差。該機還能夠進行連續對準，以確保整個過程的對準精度。501 F用於金屬層、多晶矽層和IC中使用的其他層的口罩對齊。該機用於芯片的制造，如應用處理器、內存芯片和顯示控制器。