二手 CANON FLAG-1500 #9161633 待售

CANON FLAG-1500是一種面罩對齊器，旨在產生金屬、材料和器件的微米級圖案。它能夠處理大開口和非平坦表面的基板,並為200 mm晶圓提供1.5 μ m或更高的掩模配準精度。它支持非接觸式邊對準和間隔器邊對準,用於門陣列技術,精度為0.1 μ m或更高。FLAG-1500是一個全自動面罩對齊器，重點提供平穩可靠的操作。由EGA 5kW CANON E精工Shot提供動力，可以蝕刻金屬、矽和玻璃口罩。蒙版的最大尺寸為880mm x 880mm,適用於所有應用程序。它還配備了266mm激光晶片對準系統、自動E光束抵抗塗層、TMA（橫向磁性對準）框架以及用於對準的OBIRCH邊緣對準器。此對齊器提供了多種功能,包括能夠快速準確地測量晶圓的輪廓模式。它還能夠精確驅動大小圖案，並提供高速測量能力。此外,CANON FLAG-1500提供了一個用戶友好的界面,並且可以自動存儲註冊點,以確保快速重新校準。它還可以在三個維度上精確測量工件的平整度。FLAG-1500符合SEMI和CE等國際標準。它還包括各種先進的安全和環境特征，包括塵埃過濾系統和滅火系統。它能夠在惡劣的工業環境中運行，並且可以連續運行長達12小時。總之,CANON FLAG-1500是一種高效可靠的掩碼對齊器,具有多種功能和特點。它配備了多種安全和環境特性以及用戶友好的界面和快速的重新校準能力。這臺機器非常適合處理各種各樣的晶片和材料，以及提供精確的對齊模式低至1.5 μ米或更好。