二手 CANON MPA 3000W #9393325 待售

CANON MPA 3000W Mask Aligner是一種中型專業光刻設備，設計用於制造高質量的半導體。該系統采用接觸對準方法進行精確的掩模到晶圓對準，以達到高精度和分辨率。CANON MPA-3000 W Mask Aligner具有較大的曝光表面積,可用於大晶圓加工,並在整個表面均勻曝光。該單元配備6英寸主對準方法，采用0.5微米分辨率，能夠提供不到1微米的精度。它還具有一個自動銷釘位置檢測器，用於測量銷釘位置並計算任何需要的校正，以確保適當的晶圓定位。0.1微米分辨率的3英寸CCD相機在制造半導體器件時能夠與所需的掩模圖案對齊。MPA 3000W Mask Aligner也有一個自動顯微鏡照明機，使檢查曝光模式更加準確。它配有可編程幹涉儀工具，在曝光前檢查對準的穩定性。高分辨率曝光監視器監控曝光劑量和時間。該資產還具有高速空氣軸承級,可加快晶圓交換速度,從而縮短循環時間並提高吞吐量。MPA-3000 W Mask Aligner是一種多用途、經濟實惠的平版印刷模型,它提供了完全的設備集成能力,可實現薄膜曝光和對準。它具有方便用戶的設計和易於使用的控制，使設備的設置和操作變得簡單明了。其先進的特點使其適合研究和工業用途。