二手 CANON MPA 500 Fab #293652734 待售

CANON MPA 500 Fab是一款最先進的口罩對準器，旨在使半導體工業中的高品質器件得以生產。這款蒙版對準器使用5英寸視野和5軸電機驅動設備，以高精度和生產率將圖樣從光掩模精確傳輸到晶片。CANON MPA 500FAB能夠運行從簡單光刻到高端濕蝕刻應用的各種過程。它可以為原型制作和生產操作客戶提供服務。它提供了廣泛的基材尺寸,直徑從200毫米到4英寸的晶圓等,從而實現了高質量設備（如內存和邏輯）的對齊。該工具還利用多方向光束來確保覆蓋掩模場的均勻曝光強度。MPA-500FAB還具有專用的激光引導對準系統，可自動對準掩模和晶片。該單元提供0.3微米的分辨率和1毫拉的精度，使其能夠生產高產設備。發射源經過高度優化，即使在曝光設置發生變化的情況下，也能在晶圓上產生穩定和均勻的模式。CANON MPA-500FAB滿足嚴格的環境要求,可用於濕式或清潔室制造,具體取決於設備的類型。它還提供多種安全功能,例如啟用傳感器的安全套、門鎖和用戶/教學界面。通過使用先進的自動自我診斷機器,維護也變得容易得多,這種機器可以在操作員導致生產停機之前提醒操作員註意任何潛在的問題。總之,CANON MPA 500-FAB的設計具有極高的準確性和生產率,並提供了廣泛的功能,可同時為原型設計和生產客戶提供服務。它是為滿足各種環境要求而建造的,例如潔凈室和濕蝕生產,並具有多種安全功能,包括自我診斷工具和激光引導對準資產等功能,以確保生產過程的最高產量。