二手 CANON MPA 500 Fab #293750910 待售

CANON MPA 500 Fab是一種面罩對準器，旨在為光刻應用提供精度和準確性。它是裝有先進紫外線光源的單發對準器，適合光刻工藝。該設備還包括一個高精度檢測系統，能夠測量和控制覆蓋、聚焦和曝光參數。CANON MPA 500FAB配備了四象限透射單元（FQTS），在圖像分辨率、曝光劑量和吞吐量速率方面提供了極好的平衡。該機有500F和500 L兩種尺寸,均具有高效自動切換LED和激光光源。LED源可以掃描最多900mm2的區域,而激光機器可以覆蓋最多2000mm2的區域。MPA-500FAB能夠產生分辨率為1.5微米或更高的圖樣,並支持高達1000個晶圓的批量。MPA 500 Fab利用多光束投影進行成像,其中有多種透鏡,覆蓋範圍從2mm到25.4mm不等。此功能允許它在單個處理步驟中對齊多個晶片或層之間的模式。能夠測量到0.4微米以內的焦平面探測器，可以進行校準，以獲得可重復的精度。此外,機器的自動聚焦功能在對準過程中提供了更高的精度。該機配備了全面的軟件工具，能夠與客戶現有的SPC和晶圓完整性軟件集成。它具有內置的流程監測和統計能力，以及各種分析工具。它還能夠自動進行作業調度和配方管理,從而增加吞吐量並延長時間。CANON MPA 500-FAB經過測試,證明在生產環境中具有很高的準確性和可靠性。它與多種基板兼容，範圍從IC骰子到薄膜電阻元件。它的特點和廣泛的工藝條件使得它非常適合敏感的應用，如MEMS制造和晶圓碰撞。