二手 CANON MPA 500 Fab #293820815 待售

CANON MPA 500 Fab是用於光刻的最先進的面膜對齊器。它是一種精密的工具，能夠通過光刻塗層、圖案掩模對準和光刻工藝對半導體電路組件進行快速原型設計。該工具能夠以納米精度將圖樣投影到晶圓上。CANON MPA 500FAB采用可變噴塗塗層（VSC）技術,可實現高均勻性、低缺陷率的高質量光敏塗層。這種塗層技術還允許高分辨率對齊具有多種蒙版形狀和尺寸的圖案蒙版。這臺機器配備了獨特的三維（3D）對準系統，采用紅外激光來檢測圖案掩模的位置，確保光刻過程中的納米級精度。MPA-500FAB還包括若幹安全機制，如安全快門、內置安全聯鎖裝置和臭氧消除面罩對接裝置。此外，這臺機器的設計目的是盡量減少人為幹預，從而消除人為錯誤的可能性。MPA 500-FAB具有處理各種掩碼尺寸和長寬比的能力,範圍從1：1到16：1。另外，它與多種類型的光敏材料，如負性和正性光敏材料，以及單層和多層抗蝕劑兼容。該工具還能夠支持陣列掩蔽晶片的垂直和水平對齊模式。CANON MPA 500-FAB是一種高效、精密的機器，非常適合半導體器件制造工藝和矽片制圖等多種應用。CANON MPA-500FAB具有獨特的VSC塗層技術、三維對準系統和最小幹預設計,是一種先進可靠的掩模對準器,能夠生產高質量的半導體器件。