二手 CANON MPA 500 Fab #9144945 待售

CANON MPA 500 Fab是一款先進的蒙版對準器，提供光敏抗蝕劑的質量和可重復接觸打印。這種設備提供了最先進的光刻處理技術，允許將圖樣從面罩轉移到基板上。CANON MPA 500FAB的關鍵特點包括高速、高精度多像素厚度運動單元、自動校正冷弧成像系統、接觸打印精確對準、人體工程學基板對準、與各種抗蝕劑兼容等。此外,此掩碼對齊器還提供了流程集成和精細的功能對齊、自動電氣測試打印、減少圖層之間的錯位以及易於使用的用戶界面。MPA-500FAB設計用於高級接觸打印任務和精細間距對齊。CANON MPA 500-FAB具有5微米的分辨率和能夠以千分之一像素的間隔移動基板的運動單元,為生產階段接觸打印提供了卓越的精度。符合人體工程學的基板對準設計可以使基板快速精確對準，減少生產時間，同時保持高精度。基板對齊單元可以使用坐標對基板位置進行參數控制,從而實現接觸打印的自動精細和粗細間距對齊。MPA 500 Fab提供與各種抗蝕劑的兼容性，包括光致抗蝕劑、無有機樹脂和導電氧化物，以及玻璃、石英和Si晶片等各種基材。該機器使用多種掩碼技術（如二進制、衰減梯形和反模擬）實現精確的模式傳輸。CANON MPA-500FAB還配備了先進的自動校正冷弧成像工具,可幫助實現高分辨率成像,獲得優良的特征分辨率。這種成像資產可用於接觸印刷以及直接成像，以產生各種基板上的細紋。自動校正的冷弧成像模型保證了均勻的照明，提高了圖樣的直線性。此外,MPA 500FAB包括集成的過程控制和傳感器診斷,從而實現高效的生產過程管理。這些設備功能提供了一致且可重復的特征對齊方式,且精度很高。MPA 500-FAB旨在為高級電子設備制造任務提供卓越的質量、可重復和精確的接觸打印。該系統提供了多種優點,包括增強的工藝集成和精細的特性對齊、自動電氣測試打印以及與一系列抗蝕劑材料和基板的兼容性。