二手 CANON MPA 500 Fab #9214610 待售

CANON MPA 500 Fab是一款全自動蒙版對準器，利用先進技術實現了光掩碼的精確放置和對準。CANON MPA 500FAB有助於最小化對準誤差,使其非常適合制造用於高端平板顯示器和半導體工藝的光掩模。該機器提供快速、高精度的光掩模圖樣對準,包括高光學分辨率的精確對準。MPA-500FAB采用4場步進電動機,可精確對準陣列。電機提供快速、精確的圖案對準，特征尺寸為1 µm。細節調制允許進一步優化，以達到小於1 µm的特征大小。對準精度低於0.5µm，這是由獨特的自動對準設備增強的。MPA 500 Fab具有良好的圖樣放置精度和圖樣跟蹤精度,具有可調的光束電流,以及出色的曝光均勻性。它可用於大多數衍射基板上的圖樣放置和對準，包括石英和矽，使其成為廣泛應用的理想選擇。圖像分析系統也可用於自動檢測和測量對齊的模式。這樣可以確保在長期運行中的頂級性能和可重復性。CANON MPA 500-FAB包括一個計算機接口,可用於數據輸入和模式檢索。這允許用戶為任何作業創建一系列模式,並使用易於使用的程序對其進行控制。計算機還提供了一個直觀的圖形用戶界面，用於編輯和創建模式對齊，以及自定義機器設置和參數。MPA 500-FAB還提供出色的暗場和明場成像和精度，以及內置鹵素燈，可以產生從紫外線到紅外波長的廣譜光。本機可配備可調節工作距離、激光自動對焦和自動定心的光學裝置。總體而言,CANON MPA-500FAB是一種全面且用戶友好的掩碼對齊器,可產生高質量和精確的模式對齊。MPA 500FAB具有高精度的激光對準機、可調參數和廣泛的成像機制，能夠有效地處理任何工作，方便地滿足用戶的需求。