二手 CANON MPA 500 Fab #9291905 待售

CANON MPA 500 Fab是一種用於芯片制造和納米技術行業光刻工藝的掩模對齊器。CANON MPA 500FAB基於CANON原始的可擴展多投影對齊技術，分辨率為1微米，能夠覆蓋芯片尺寸高達6英寸的晶圓。它采用了經過重新設計的對準設備，為用戶提供了更高的精度，具有高精度的線性導引系統和減少熱膨脹的真空中心對準技術。該設備具有卓越的精度範圍,其X軸和Y軸的2D對準精度均在0.1-0.2微米範圍內。MPA-500FAB使用具有多個光源的紫外線曝光技術，以便將圖樣投射到芯片表面上，從而根據需要創建所需的線寬和細節。它還具有優化的投影單元,可提高對準精度並減少正確對準圖像所需的時間,並具有自動對焦能力和激光對準支持。此外，該裝置還包括一臺強大的電機驅動機，有助於在納米技術生產過程中實現更高的精度和可重復性。通過實時在線監控對齊過程以及允許打印和掩蔽過程高精度的曝光控制功能等功能,進一步增強了設備。它還具有適應性強的光源輸出,以增加更高的吞吐量和與所需產品制造過程的兼容性。CANON MPA-500FAB的設計滿足了各種高精度納米技術生產工藝的最高要求。它具有高精度的對準精度、先進的技術範圍以及適應性強的輸出，是需要最高精度和輸出水平的批量生產工藝的理想解決方案。