二手 CANON MPA 500 Fab #9373199 待售

CANON MPA 500 Fab是一種能夠產生高保真度和高精度光刻工藝的掩模對齊器。它具有最先進的光學對準技術，能夠達到20 µm的定位精度，對準時間為8秒。其數字信號處理技術實現了X軸和Y軸方向0.5 µm重復性的極致對準精度。設備配備先進的多鏡頭成像系統和顯微鏡目標，在最壞的情況下實現+/-3 µm芯片對準精度。它旨在最大程度地減少掩模圖像的失真,從而允許掩模和芯片之間的不同旋轉曝光配置,以實現均勻分布的曝光可重復性。該單元還設計用於通過在每次曝光後重置對齊方式,最大程度地減少可能導致蒙版圖案像差的累積誤差。CANON MPA 500FAB利用內置的曝光數據庫,允許最多20個可編程曝光參數和曝光持續時間,提供高吞吐量和可重復的對齊結果。其用戶友好的圖形界面提供即時反饋，同時允許對齊過程的快速編程。該機具有離線對準和離軸照明工具,用於模模或非穿孔設備對準。它配有大型顯示屏和符合人體工程學的面板,便於操作。該資產包括一個微控制器，該微控制器包含標準的非易失性內存，最多可存儲10張照片和60張對準。MPA-500FAB支持從25毫米到200毫米的各種晶圓尺寸。該模型采用現代時尚設計,采用集成式粉塵管理設備。總體而言,CANON MPA-500FAB是光刻工藝的可靠、易於使用和直觀的解決方案,性能和準確性都很高。它提供了多功能性、速度和效率，滿足了現代芯片行業的挑戰需求。