二手 CANON MPA 500 Fab #9410722 待售
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ID: 9410722
晶圓大小: 5"
優質的: 1996
Mask aligner, 5"
Control box
Lamp power supply
Missing parts:
CTC Unit
Conduit
1996 vintage.
CANON MPA 500 Fab是用於集成電路（IC）晶片制造的先進掩模對準器。該設備采用了精確、自動化的對準工藝，減輕了人工對準光掩模和IC晶片的需要。CANON MPA 500FAB使用高分辨率視頻檢查設備和非接觸式位移檢測系統，以確保可見標記的精確對齊和精確的模式邊界。掩模對準器設計用於在對準和光刻過程中保持晶圓的平整度。該裝置還具有精確的光束掃描和定位裝置，為精確覆蓋能力提供了平穩過渡。MPA-500FAB配備了一個高精度的舞臺，提供快速的掃描速度和準確的定位。此外，該裝置采用高精度聚焦伺服機，使光束聚焦在正確的圖樣區域，結果非常精確。掩模對準器配有CCD成像工具和多波長照明資產，便於無縫層對準。此外,該設備能夠曝光多達100 nm的線條和空間圖案,最大曝光面積為200 mm x 200 mm。為確保快速、準確和精確的曝光精度,該設備包括多區域曝光控制模型和高分辨率自動校正設備。CANON MPA 500-FAB能夠以高吞吐量級別運行,吞吐量為每小時120個晶圓。該裝置能夠在一個周期內完成多次曝光過程，適合大批量生產。該設備僅需要最低限度的維護,利用簡單的用戶界面,並符合ANSI安全標準以實現長期可靠性。
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