二手 CANON MPA 500FA #293592855 待售
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ID: 293592855
晶圓大小: 5"
優質的: 1982
Aligner, 5"
(2) Accessories packing
Lamp power supply
Missing parts:
CTR Box
Conversion kit
Generator
Air press unit
1982 vintage.
CANON MPA 500FA Mask Aligner是一種用於準確管理微觀圖樣從模具（或mask）轉移到指定基板上的設備。它是制造微電子元件和器件以及生產光子和微機械結構的必要設備。CANON MPA-500FA可提供快速、高精度的掩碼對齊方式,同時具有固定和可變步長以及XY和XY Θ對齊方式。它還集成了獲得專利的Auto Align和Auto MOVE功能,以實現快速可靠的對齊。MPA 500 FA使用電荷耦合器件（CCD）.它還具有一個設計先進的冷卻系統,可幫助減少熱漂移和手動步驟預先對準的需要。設計具有先進的過濾和流刺消除功能，可減少掩蔽表面的顆粒汙染。MPA-500FA具有靈敏的晶片級，行程為15mm x 15mm，使用PSD的可靠距離測量系統（DMS）為+/-0.02 µm。其舞臺速度為50mm/s,圖案尺寸範圍為1mm至20mm,最小圖案步長為0.05mm,在整個舞臺和掩模對準過程中提供更高的精度。此外,CANON MPA 500 FA還配備了各種對齊模式,以支持一系列緊密間隔的模式、精細模式甚至超精細模式。它還提供了許多曝光模式，包括直接雙距離（D2D）、雙曝光（DE）和單曝光（SE）。MPA 500FA提供了有效、敏捷的對齊方式,以忠實地傳遞和重現您的設計模式。它可靠、高效、經濟實惠，非常適合生產大型和低成本的納米和微米級器件。
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