二手 CANON MPA 500FA #293592857 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293592857
晶圓大小: 5"
優質的: 1983
Aligner, 5"
Conversion kit
CTR Box
(2) Accessories packing
Lamp power supply
Missing:
Generator
Air press unit
1983 vintage.
CANON MPA 500FA是一種先進的全場掩模對齊器，為光電、MEM和ASIC等不同領域提供精確的光刻能力。這種最先進的設備能夠在整個基板表面穩定地暴露紫外線。CANON MPA-500FA提供了卓越的曝光精度,均勻度±為0.5 mJ/cm2,對齊時具有極好的可重復性。高級自動打印功能會自動調整打印模式以適應基板尺寸,從而提高生產率。快速調整功能允許快速輕松地更改曝光設置。內置的圖像庫還允許同時曝光多個基板，最大限度地提高成本效益。先進的X-Y級設備提高了對齊精度，減少了對齊的風險。這導致了一個極精確的過程，產量高。MPA 500 FA具有高分辨率成像系統,可在整個基板上提供均勻曝光。該裝置能夠以較高的夾緊精度處理200毫米以下的基板，並通過主動減振機減少震動。內置的安全工具提供了防止過度暴露和氧化的保護。面罩對齊器還配備了一個觸摸面板，允許直觀操作與直接讀取刻度。MPA 500FA還提供高效空氣過濾器和排氣系統的環境保護。大功率鹵化物燈保證了穩定的照明和均勻性，而大功率紫外線固化方法縮短了固化時間，增加了吞吐量。CANON MPA 500 FA是研究和生產應用的理想蒙版對齊器，使用戶能夠實現高速、精確的打印。該設備與廣泛的基板兼容，如藍寶石矽、矽、藍寶石和玻璃塊。
還沒有評論