二手 CANON MPA 500FA #293818858 待售

CANON MPA 500FA是一種掩模對準器，用於半導體工業的光刻工藝。它精確對齊和模式對齊光掩模和晶片，以獲得高質量的模式轉移到晶片。佳能MPA-500FA是一種靈活、堅固、先進的精密掩模對準設備，具有出色的晶圓對準精度和高通量。系統在整個陣列處理過程中提供閉環伺服控制,以確保所有組件都精確對齊。MPA 500 FA具有先進的傳感器模塊單元（SMS）,包括圖像識別攝像機、掃描、圓圈和自動對焦鏡頭,可實時對準光掩模和晶片。此外,該機器在不同類型的基板（包括抗蝕劑、玻璃自旋和無定形矽）上提供從標準到精細分辨率的線條、輪廓和形狀等各種陣列解決方案。該工具采用可靠且易於使用的用戶界面,提供直觀的操作和功能。圖形界面顯示對齊器的實時圖像，幫助用戶準確可靠地對齊組件。MPA 500FA還配備了先進的處理引擎。它確保資產能夠平穩、快速地運行,即使使用大量晶圓數據和高分辨率圖像也能進一步提高吞吐量。在精密對準方面，MPA-500FA提供高精度晶圓對準到單微米分辨率。此外，它還能實現出色的覆蓋精度和聚焦深度，在掩模圖像和晶圓圖像之間進行精確配準。此外，精密的激光束對準和精密的進給可以保證在晶片上放置掩模的最高精度。此外，該模型還具有自動邊緣檢測能力，能夠對曝光時間進行精確控制。CANON MPA 500 FA提供出色的模式重復性和廣泛的模式解決方案,同時還提供模式重新定位功能。總體而言,CANON MPA 500FA是一種先進的掩模對準設備,可提供高精度和高通量的光刻工藝。CANON MPA-500FA具有系統可靠的用戶界面、出色的覆蓋精度、精確的激光束對準和模式重定位功能,可提供卓越的模式重復性。