二手 CANON MPA 500FA #293821331 待售

CANON MPA 500FA是一種高性能、多防毒面膜對準器，適用於先進、大容量的光掩模生產、研發和成像應用。其主要特點包括50 mm x 50 mm至500 mm x 500 mm用戶可選的布局尺寸，最大晶圓尺寸為200 mm，復雜物體最高三維配準，以及自動對焦框架配準，以更好的對準精度。它還具有一個模式抓取器,可更快地配置較大區域,並具有自動更換樣本的機制,從而提高吞吐量。其高精度多軸級使步進器能夠同時控制特征間距、叠加精度和回撤精度。它可以處理1.5-μ m像素大小,並為相同的幀提供1500晶圓/小時的高吞吐量。此外,它還提供高精度的階段對準,可確保1 µm內的可重復性和0.3 µm內的參考系定位精度。CANON MPA-500FA也被設計為減少顆粒降解和增加清潔度。這是通過自支撐型材設計實現的，該設計將基板和光掩模組件彼此隔離。此外，模式掃描儀浸入液體中的微氣泡保持了模式的完整性，減少了掃描結果的潛在失真。MPA 500 FA使用CANON專有的CANON GIM （Gene Image Metrology）軟件,該軟件提供獨特的軟件體系結構,以提高對準精度、吞吐量速度和測量精度。此軟件具有內置的綜合圖像處理庫,可監視數百個缺陷並提供強大的模式識別功能以進行註冊。總體而言,MPA 500FA掩模對準器專為晶圓規模的生產和開發項目而設計,提供卓越的精確對準精度、更高的吞吐量速度和更好的測量精度。這使得它成為先進、大批量光掩模生產和研發應用的理想選擇。