二手 CANON MPA 500FA #9226311 待售

CANON MPA 500FA是一種最先進的口罩對準器，設計用於在各種基板上進行高精度光刻。該設備利用了平面內對準技術、高速28 nm步長分辨率和晶圓厚度測量系統等幾個獨特功能。CANON MPA-500FA的主要部件是對齊板，負責協調口罩的定位和定向。該板采用平面內對準技術設計，可實現極好的對準精度和較短的對準時間。該板使用四個棱柱形柱子，以確保晶圓腔內的精確定位。提供了一個居中旋鈕,以提高在兩個柱子之間定位掩模的精度。MPA 500 FA還包括一個晶圓厚度傳感器，用於測量基板的精確厚度。傳感器安裝在對準板上,可用於準確補償基板中可能影響圖像清晰度的任何不規則性。此外,該單元還提供內置的註冊校正模式和允許調整掩碼對齊的雙點註冊模式。MPA 500FA還包括一臺先進的光刻機，具有高速28 nm步長分辨率和高效激光陣列模塊。先進的光刻工具還配備了高精度矢量發生器和波前識別資產，用於生產比傳統光刻系統更平滑的較小結構。CANON MPA 500 FA提供各種光學系統，可以定制以滿足用戶的需求。其中包括可用於接觸或接近曝光的反射光學和透射光學。這些光學器件被設計成能夠產生精確度、分辨率和保真度的圖像。MPA-500FA還包括一個高精度的微型步進電機和變速箱，它提供精確和可靠的步進。可以使用可選顯微鏡查看階梯式圖像,該顯微鏡提供了擴展的視野。該模型還配備了計算機輔助對準設備，用於多層之間的精確定位。總體而言,CANON MPA 500FA為用戶提供了一個高級掩碼對準器,它結合了高精度光刻、平面內對準技術、晶圓厚度測量系統和各種光學器件來定制用戶的需求。該單元非常適合生產半導體器件和納米制造部件的高分辨率圖像。