二手 CANON MPA 500FA #9226327 待售

CANON MPA 500FA
ID: 9226327
晶圓大小: 5"
優質的: 1982
Aligner, 5" 1982 vintage.
CANON MPA 500FA是用於制造半導體器件的最先進的掩模對準器。它設計用於高精度的掩模覆蓋對準和特征配準,使其成為光刻的理想工具。佳能佳能MPA-500FA可以容納0.5英寸到12英寸甚至更大的晶片。它具有五個對準系統,包括自上而下的光學對準、自動檢測、IC芯片對準、自下而上的光學對準和邊界掃描對準。借助圖像處理技術,MPA 500 FA只需幾步就能準確對齊不同大小和形狀的掩模。CANON MPA 500FA具有高精度步進電機和用於對準的伺服電機,精度為+/-2微米。它還提供10級放大倍率和易於讀取的液晶顯示屏,以實現更好的可視化和操作。通過延長工作距離和多種激光選項,MPA-500FA可以在大面積和高密度應用中精確對齊掩模。CANON MPA 500 FA每晶片最多可容納八個掩模,最大分辨率為0.5 nm,對準速度為5.8 ms,與最新曝光源兼容,采用先進的計算光刻技術,有效生產高通量、優秀圖像質量的掩模。為了提高生產率,CANON MPA 500FA提供了高級晶圓處理功能,如自動處理多個晶圓、晶圓加載、卸載和分類。此外,它有一個雙聽曝光設備,石英加熱器,和一個冷卻階段,以更高的工藝可靠性。佳能佳能MPA-500FA采用先進的光學鏈路設計,具有卓越的穩定性和性能.此外,它與Windows 10/Windows 7和各種軟件兼容,提供了一套全面的支持,以確保高質量的光刻。綜上所述,CANON MPA 500 FA是一種適用於半導體器件制造的先進的掩模對準器。它提供卓越的性能、快速的對齊速度和可靠的晶圓處理能力,以實現高精度的叠加對齊和特征配準。MPA 500FA具有多種光學系統和先進的光學鏈路設計,是精密光刻的有力工具。
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