二手 CANON MPA-600/500 #293606556 待售

CANON MPA-600/500 Exposure Equipment是一種高功率、可靠的曝光系統,專為各種光刻工藝而設計。該單元由先進的多曝光頭、曝光控制器、高精度機械級和真空臺組成。曝光頭配備了兩個燈百葉窗，精確控制的可調擋板，以及確保一次只曝光一次的快門互鎖機。曝光控制器是工具中最重要的組件。它吸收用戶命令並控制曝光過程。它可以調整位置、曝光時間、能量水平和多重曝光重叠。它還檢測超出限制的條件並允許特殊的操作功能。曝光控制器具有自動安全設備,當某些預定義的標準不符合時,這些設備將停止曝光。精密力學階段旨在提供晶圓的精確定位，並確保其在曝光過程中牢固地固定到位。舞臺使用線性和旋轉編碼器精確測量和控制其位置。也可以將其編程為允許多個曝光軸偏移。真空臺位於曝光控制器的頂部，負責在曝光過程中牢固定位並牢牢抓住晶片。它還能夠在整個晶片表面施加均勻的曝光。該表是溫度控制和真空密封，確保空氣和水分不幹擾暴露過程。MPA-600/500曝光資產是需要精確曝光大尺寸晶圓的光刻工藝的完美解決方案。其先進組件的組合確保了符合當前行業標準的準確曝光。該模型經過了全球領先的半導體制造商的徹底測試和信任。